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真空泵的選型

時間:2007-8-28 來源:揚子江泵業(yè) 瀏覽數(shù):1610

1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級。
            
     2、正確地選擇真空泵的工作點。每種都有一定的工作壓強范圍,如:擴散為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,的抽速隨壓強而變化,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。
            
     3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
            
     4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子,(或二極型非對稱陰極濺射離子)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級,故都需要把組合起來使用。
            
     5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油,如:水環(huán)、分子篩吸附、濺射離子、低溫等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
            
     6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
            
     7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
            
     8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
            
     9、真空泵的價格、運轉及維修費用。
            
     水環(huán)式真空泵的選擇
            
     一、類型的確定
            
     的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。
            
     工作時,需要注意以下兩個方面:
            
     1.盡可能要求在高效區(qū)內,也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內運行。
            
     2.應避免在大真空度或大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內運行,不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,易產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,在此區(qū)域之內運行,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,產生這種現(xiàn)象的明顯標志是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作。
            
     根據以上原則,當所需的真空度或氣體壓力不高時,可優(yōu)先在單級中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機組作為抽真空裝置。
            
     如果只作真空泵用,則選用單作用比較好。因為單作用的構造簡單,容易制造和維護,且在高真空情況下抗汽蝕性好。
            
     如果僅作較大氣量的壓縮機使用,則選用雙作用的比較合適。因為雙作用的氣量大,體積小,重量輕,徑向力能得到自動平衡,軸不容易產生疲勞斷裂,的使用壽命較長。

     二、根據系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵

     初步選定了的類型之后,對于真空泵,還要根據系統(tǒng)所需的氣量來選用的型號。
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