電子工業(yè)生產(chǎn)中真空泵的選擇

真空的獲得，是借肋真空泵來實現(xiàn)的。不同種類的泵，它有若一定工作條件和范圍，在選擇真空泵時，應(yīng)充分考慮到它的特性和規(guī)格，并從所設(shè)計系統(tǒng)的以下四個條件出發(fā)。

(1)被抽真空容器的體積(包括管路)及生產(chǎn)率要求。

(2)所要求的真空度。

(3)抽出氣體的種類。

(4)工作期間工件和系統(tǒng)的放氣橄和漏氣。

目前在我國電子工業(yè)生產(chǎn)中，常用的真空泵的基本類型主要是機(jī)械泵和油擴(kuò)散泵(有時加冷凝阱)。現(xiàn)僅就這兩種類型真空泵(金屬的)的選擇問題簡介如下。

機(jī)械泵工作的基本原理是利用轉(zhuǎn)子，將機(jī)械泵的工作空間周期性的壓縮和膨脹，從而排出容器中的氣體(經(jīng)導(dǎo)管流入機(jī)械泵中的)。

機(jī)械泵按結(jié)構(gòu)特征可分為旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、多片式真空泵和雙轉(zhuǎn)子真空泵(羅茨泵)等。

目前在我國電子工業(yè)生產(chǎn)中，應(yīng)用較多的是旋片式真空泵。
機(jī)械泵工作性能的好壞，受很多因素的影響，如結(jié)構(gòu)形狀、加工精度、機(jī)械泵油的性能、工作環(huán)境、被抽氣體種類和機(jī)件磨損情況等。日前雖然有人在理論上從泵的有害空間、氣密性、極限壓強(qiáng)、抽氣速率和壽命等方面分析后，認(rèn)為滑閥式好，定片式次之、轉(zhuǎn)片式較差，但是尚未提供有力的證據(jù)。

機(jī)城真空泵目前一般已能達(dá)到5*10-3~5*10-4 毫米水銀柱左右，再高的真空度要求，單單靠一個機(jī)械泵是滿足不了的，還必須采用擴(kuò)散泵(當(dāng)真空度要求達(dá)10-6~10-7毫米水銀往以上時，還需加用其他真空獲得的部件)來繼續(xù)完成機(jī)械泵所不能達(dá)到的真空度。

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